在特氣柜系統(tǒng)的安全運行中，氣體潔凈度的把控至關(guān)重要。深圳恒歌研發(fā)的 HF 系列高壓氣體專用過濾器，作為特氣柜高純氣體過濾器的佼佼者，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)提供精準(zhǔn)過濾解決方案。

產(chǎn)品采用堅固的 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，這一材質(zhì)選擇不僅賦予了過濾器卓越的抗腐蝕能力，更使其能在高壓環(huán)境下保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，50Mpa 的設(shè)計壓力充分滿足了高壓氣體系統(tǒng)的運行需求。與高強度并存的是相對較輕的重量，實現(xiàn)了小型化、輕量化設(shè)計，有效減少安裝空間，讓特氣柜內(nèi)部布局更緊湊合理。

過濾效率是其核心競爭力。憑借獨特的過濾技術(shù)，能夠高效捕捉壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物等雜質(zhì)，確保進入系統(tǒng)的氣體純度達到嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)，從根本上避免污染物對設(shè)備造成的損害，保障系統(tǒng)高效運行。同時，過濾器具備高透氣性，在高效過濾的同時不會過度增加氣體輸送阻力，維持系統(tǒng)流暢運行。

在使用便利性上，產(chǎn)品細節(jié)設(shè)計彰顯匠心。螺紋連接方式確保了整體的密封性，且兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，適配不同的系統(tǒng)連接需求。濾芯可更換的設(shè)計讓檢修維護變得簡單高效，大幅縮短停機時間。每臺過濾器都經(jīng)過 100% 完整性測試和 100% 氨氣泄露檢測，以零缺陷的品質(zhì)承諾，為特氣柜系統(tǒng)的安全穩(wěn)定運行提供堅實保障。