恒歌在線式高壓雙卡套過濾器專為半導(dǎo)體工藝氣體凈化設(shè)計，憑借卓越的過濾性能、可靠的結(jié)構(gòu)設(shè)計與嚴(yán)格的質(zhì)量管控，成為半導(dǎo)體行業(yè)去除工藝氣體中顆粒的優(yōu)選設(shè)備，為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的氣體潔凈度提供優(yōu)質(zhì)保障，助力提升半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)穩(wěn)定性。?

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 潔凈環(huán)境制造，奠定穩(wěn)定工藝基礎(chǔ)?

過濾器全程在潔凈室環(huán)境下完成制造，從生產(chǎn)到組裝的每一個環(huán)節(jié)都嚴(yán)格控制粉塵、雜質(zhì)污染，確保產(chǎn)品本身具備潔凈、穩(wěn)定的工藝表現(xiàn)，避免因設(shè)備自身污染影響半導(dǎo)體工藝氣體純度，從源頭保障下游生產(chǎn)環(huán)節(jié)的氣體潔凈需求。?

2. 優(yōu)質(zhì)材質(zhì)選用，耐受嚴(yán)苛工況?

外殼材質(zhì)：采用316L 不銹鋼打造外殼，具備出色的耐腐蝕性與高強(qiáng)度特性，可承受高壓工況，適配半導(dǎo)體行業(yè)中多種工藝氣體的輸送與過濾需求，有效避免外殼因腐蝕或高壓損壞導(dǎo)致的氣體泄漏問題。?

產(chǎn)品性能

1. 超高顆粒截留率，確保氣體潔凈度?

過濾器在30slpm 流量下，對3nm 及以上顆粒的截留率高達(dá) 99.9999999% ，能深度去除半導(dǎo)體工藝氣體中的微小顆粒，避免顆粒雜質(zhì)影響芯片制程，為半導(dǎo)體生產(chǎn)提供超高潔凈度的工藝氣體，保障晶圓生產(chǎn)質(zhì)量。?

2. 優(yōu)異流體性能，降低系統(tǒng)能耗?

高流量與低初始壓降：產(chǎn)品具備高流量特性，同時初始壓降低，在保障氣體輸送效率的同時，減少氣體輸送過程中的能耗消耗，降低半導(dǎo)體生產(chǎn)的能源成本。?

穩(wěn)定壓差表現(xiàn)：在 23°C(73°F)工況下，最大正向壓差可達(dá) 4 bar(60 psig)，最大反向壓差為 0.7 bar(10 psig)，能在不同工況下保持穩(wěn)定的過濾性能，適配半導(dǎo)體生產(chǎn)中多變的工藝需求。?

3. 緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計，節(jié)省安裝空間?

采用卷繞式膜結(jié)構(gòu)，使得過濾器整體體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，能有效節(jié)省半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部寶貴的空間資源，同時方便安裝操作，適配半導(dǎo)體廠房設(shè)備密集、空間有限的安裝環(huán)境，降低設(shè)備布局與安裝難度。?

4. 可靠質(zhì)量管控，消除使用隱患?

優(yōu)化濾芯設(shè)計：濾芯的設(shè)計及材料選擇經(jīng)過嚴(yán)格優(yōu)化，可有效消除膜片形變和脫落現(xiàn)象，確保下游氣體潔凈度可靠，避免因膜片問題導(dǎo)致的過濾失效，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性。?

嚴(yán)格檢測流程：產(chǎn)品出廠前需經(jīng)過100% 氦氣泄漏檢測，氦氣泄漏率低至 1 x 10?? atm cc/sec，同時還會進(jìn)行高純氣體吹掃，保證產(chǎn)品下游顆粒潔凈度，確保過濾器在使用過程中無泄漏、無二次污染風(fēng)險。?

產(chǎn)品應(yīng)用

1. 多密封?類型，適配多樣系統(tǒng)?

提供VCR 墊片密封和卡套管密封兩種類型，能適配大多數(shù)半導(dǎo)體系統(tǒng)和生產(chǎn)設(shè)備的配置，無需額外定制密封配件，降低設(shè)備適配成本與難度，提升過濾器的通用性。?

2. 豐富應(yīng)用領(lǐng)域，覆蓋半導(dǎo)體氣體需求?

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)多種氣體相關(guān)場景，包括：?

高純壓縮氣體：去除高純壓縮氣體中的顆粒，保障氣體純度;?

工藝特種氣體：為各類工藝特種氣體提供過濾純化，滿足特種工藝需求;?

氣柜和 VMB(閥門 manifold 箱)：在氣柜和 VMB 中實(shí)現(xiàn)氣體過濾，保障氣體輸送過程的潔凈;?

有毒氣體：安全過濾有毒氣體中的顆粒，同時避免氣體泄漏，保障生產(chǎn)安全;?

二次配管：在二次配管環(huán)節(jié)進(jìn)行氣體過濾，進(jìn)一步提升氣體潔凈度，確保下游工藝穩(wěn)定。