PECVD就是化學(xué)氣相沉積法，是一種化工技術(shù)，該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法。在淀積時，反應(yīng)氣體的多少會影響淀積的速率及其均勻性，恒歌PECVD氣體擴散分布器用于PECVD系統(tǒng)中，控制均布氣體流量，去除過濾氣體流路中的雜質(zhì)。316L不銹鋼材質(zhì)，精心選材，高強度高硬度，耐高壓，產(chǎn)品耐腐蝕，不生銹，高精度，過濾效率高，可反復(fù)清洗后使用。

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